1. Sputtering
1.1 Sputtering del magnetrone
È un metodo per generare una scarica luminescente attraverso la tensione, ionizzare il gas argon, bombardare il bersaglio con ioni di argon per emettere particelle pesanti di terre rare come disprosio e terbio, che si depositano sulla superficie dell'acciaio magnetico per formare uno strato di pellicola. I prodotti applicabili allo sputtering del magnetron includono pezzi quadrati, piastrelle, pezzi rotondi, anelli, ecc. e la fonte di diffusione è costituita principalmente da bersagli metallici puri di disprosio o terbio.
Lo sputtering del magnetron presenta i vantaggi di una buona uniformità del rivestimento, di uno strato di pellicola densa e di un effetto stabile di potenziamento della forza coercitiva. I suoi svantaggi sono: 1. L'attrezzatura è costosa e il prezzo di una singola attrezzatura continua è compreso tra 3,5 milioni e 5 milioni; 2. Il tasso di utilizzo del materiale target è basso, quindi il costo relativo è elevato.
1.2 Sputtering multiarco
È un rivestimento che produce sputtering locale ad alta temperatura mediante scarica indotta dal campo. Ha un tasso di utilizzo del materiale target ad alta efficienza di rivestimento e una buona forza di adesione. Ma gli svantaggi sono 1. Grandi particelle di rivestimento e superficie ruvida della pellicola; 2. Uniformità generale del rivestimento; 3. Stabilità del rivestimento insoddisfacente; 4. Aumento della temperatura locale.
2. Evaporazione
L'evaporazione è un metodo per depositare una pellicola riscaldando e vaporizzando il materiale di rivestimento sotto vuoto. L'evaporazione è divisa in evaporazione statica ed evaporazione rotativa, simili alla placcatura sospesa e alla placcatura a rulli nel processo di galvanica e adatte rispettivamente per magneti grandi e piccoli.
2.1 Evaporazione statica
Il vantaggio è che la temperatura di evaporazione è elevata e la sublimazione della fonte di evaporazione, la deposizione sulla superficie dell'acciaio magnetico e la diffusione nel magnete vengono eseguite simultaneamente, quindi l'effetto di diffusione pesante delle terre rare è migliore. Poiché la qualità della pellicola di terre rare pesanti dopo l'evaporazione è correlata alla temperatura di evaporazione, al grado di vuoto e alla distanza di placcatura (la distanza tra il bersaglio di terre rare pesanti e il foglio magnetico), la lamiera di acciaio magnetico deve essere posizionata in attrezzature specifiche per garantire la distanza di placcatura, con conseguente processo più complicato, bassa efficienza produttiva e scarsa consistenza della pellicola. Pertanto, l'evaporazione statica è meno utilizzata nell'industria dei materiali magnetici domestici.
2.2 Evaporazione rotatoria
Si tratta di un metodo per miscelare continuamente acciaio piccolo e micromagnetico e materiali target pesanti di terre rare attraverso la rotazione e il metallo Dy/Tb volatilizzato dopo l'alta temperatura si deposita sulla superficie del prodotto. Questo processo è adatto per prodotti di piccole dimensioni, in particolare prodotti elettroacustici con peso unitario inferiore a 1 g; il costo del materiale di diffusione è basso, l'aumento di peso è ridotto e l'HcJ è significativamente migliorato; la consistenza dell'HcJ è elevata. Lo svantaggio è che il processo di separazione del prodotto e dei metalli di disprosio e terbio è relativamente dispendioso in termini di manodopera e questo processo viene utilizzato raramente nel settore e l’attrezzatura di solito deve essere personalizzata, il che presenta alcune barriere tecniche.
3. Rivestimento
3-1 Spruzzatura automatica
Disporre i fogli magnetici in un unico strato e posizionarli sul vassoio del pezzo da lavorare. Utilizzare una pistola a spruzzo pneumatica per spruzzarli in modo alternativo per formare una pellicola. Quando la fonte di diffusione è fluoruro o ossido, può essere spruzzato nell'atmosfera. Se si tratta di un idruro o di una polvere di lega di terre rare pesanti, è necessaria la protezione con gas inerte.
Vantaggi: 1. È applicabile a un gran numero di fonti di diffusione, inclusi idruri, fluoruri, ossidi e leghe; 2. Può diffondere prodotti di varie forme e dimensioni, compresi pezzi a forma di piastrella, quadrati, rotondi e anelli; 3. L'apparecchiatura ha un elevato grado di automazione e il vassoio del pezzo può essere utilizzato universalmente e il cambio dell'ordine è flessibile e conveniente; 4. L'investimento in attrezzature è basso e il tasso di utilizzo delle terre rare pesanti è elevato.
Principali svantaggi: esiste un rischio di brevetto quando la fonte di diffusione è il fluoro, ci sono rischi per la sicurezza quando si tratta di idruro e lega e la costanza delle prestazioni degli ossidi è scarsa.
3-2 Serigrafia
La polvere pesante di terre rare viene preparata per ottenere inchiostro. Durante la stampa, l'inchiostro viene versato in un'estremità della lastra serigrafica e viene applicata una certa pressione alla parte inchiostrata sulla lastra serigrafica con un raschietto. Contemporaneamente il raschiatore si muove con velocità uniforme verso l'altra estremità della lastra serigrafica. L'inchiostro viene spremuto dalla rete al foglio magnetico dal raschietto per formare una pellicola durante il movimento.
Grazie all'incapsulamento del reagente organico nell'inchiostro, all'idruro o alla lega pesante delle terre rare viene impedito il contatto con l'aria e si evita l'ossidazione. Pertanto, l'idruro di terre rare pesanti può essere utilizzato come fonte di diffusione per il rivestimento nell'ambiente atmosferico, evitando di fatto il rischio evidente del fluoruro. Allo stesso tempo, il processo di serigrafia ha le caratteristiche di elevata efficienza produttiva, elevato tasso di utilizzo di terre rare pesanti e buona consistenza dell'aumento di peso, che è molto adatto per la diffusione dei bordi dei grani dell'acciaio magnetico quadrato. Negli ultimi due anni, il processo di stampa serigrafica è stato rapidamente promosso nel settore ed è diventato uno dei processi tradizionali.
Gli svantaggi sono: 1. Il vaglio e il raschietto non sono adatti per prodotti a forma di piastrella con superfici irregolari; 2. Prodotti di diverse dimensioni e rapporti di aumento di peso richiedono solitamente inchiostri, lastre serigrafiche e dispositivi corrispondenti, adatti per ordini stabili su larga scala. Per ordini di piccoli lotti, la sostituzione frequente di schermi e attrezzature comporterà una riduzione dell'efficienza, un aumento dei costi e una bassa flessibilità.
